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  • 所屬分類:真空半導體

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  • 發布日期:2021/02/19
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詳細介紹

真空系統的簡單介紹及部分名詞

真空系統其實就是真空機組的一個類似的稱呼,真空機組是由幾種真空泵組合而成的一套閉環真空設備,它不見得有一些諸如散熱器,冷凝器等等設備存在。而一般能稱為真空系統的肯定是各種零部件齊全。真空應用設備種類繁多,但無論何種真空應用設備都有一套排除被抽容器內氣體的抽氣系統,以便在真空容器內獲得所需要的真空條件。舉例來說:一個真空處理用的容器,用管道和閥門將它與真空泵連接起來,當真空泵對容器進行抽空時,容器上要有真空測量裝置,這就構成了一個簡單的真空抽氣系統。那么真空系統相比較于機組來說有多少泵組成呢?這個是不確定的,我們先來認識一下可能存在的泵的名詞解釋。

(1)主泵:在真空系統中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。

(2)前級泵:用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。

(3)粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵,就是粗油泵。

(4)維持泵:在真空系統中,氣量很小時,不能有效地利用前級泵。真空腔體及零組件為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵,就是維持泵。



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